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Die Friedrich-Schiller-Universität Jena schreibt die Beschaffung eines kompakten, für den Reinraumeinsatz geeigneten Tischsystems zur maskenlosen UV-Direktlithographie aus. Das System ist für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping vorgesehen und muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen vektorbasierten Direktbelichtungsmodus unterstützen. Ziel ist die Erzeugung hochauflösender Mikro- und Nanostrukturen sowie konturtreuer Linienbelichtungen auf verschiedenen Substraten. Bieter müssen ihre Eignung durch Referenzen, Umsatznachweise und eine Betriebshaftpflichtversicherung belegen.
Beschaffung eines kompakten Tischsystems zur maskenlosen UV-Direktlithographie für den Reinraumeinsatz in Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping.
Bidder Requirements
Besondere Bedingungen