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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters (PR1293607-2790-W) aus. Der Leistungsumfang umfasst neben dem Gerät selbst spezifische technische Optionen: alternative Verfahren zur Ionenquelle (Al-Implantation), ein Messsystem zur Channeling-Implantation in SiC sowie einen zweijährigen Wartungsvertrag mit Verlängerungsoptionen. Die Vergabe erfolgt nach technischen (65%) und preislichen (35%) Kriterien.
Beschaffung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters inklusive technischer Optionen wie Ionenquelle, Channeling-Implantation in SiC und einem zweijährigen Wartungsvertrag.
Bidder Requirements
Besondere Bedingungen
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Notice ID: 02aed376-7dce-4ad5-8400-83399b1218a1