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Das IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems (Chemical Vapor Deposition) des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration aus. Der Leistungsumfang umfasst die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der Hard- und Softwareanpassungen. Dies beinhaltet insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems für gepulste Wolfram-Abscheidungsprozesse sowie die Integration von Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Das Projekt ist Teil der EU-geförderten 'APECS pilot line'.
Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Die Leistungen umfassen die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen.
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Role Qualifications
Besondere Bedingungen