Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit EFA- und VTM-Modulen für hochsensitive elektrische Untersuchungen an Mikroelektronik- und Energiematerialien durch das Fraunhofer IKTS.

Die Fraunhofer-Gesellschaft (IKTS) schreibt die Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) aus. Das System umfasst Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) sowie ein Vacuum Transfer Module (VTM). Es dient der Durchführung hochsensitiver, ortsaufgelöster elektrischer Untersuchungen an verschiedenen Materialien, insbesondere für Anwendungen in der Mikroelektronik und Energietechnik, integriert in ein kombiniertes SEM/FIB-System.

Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) und Vacuum Transfer Module (VTM) für hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten SEM/FIB-System.