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Die Universität Duisburg-Essen schreibt die Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage (Aixtron, Seriennummer CS17580) aus. Der Auftrag umfasst den Austausch der Prozesspumpe, des Showerhead-Gaseinlasses und von Rückschlagventilen sowie die Erweiterung um Leitungen für Triethylboran und Ethen inklusive Arbeiten am Gasversorgungssystem. Die Arbeiten sind für die Forschung in der Höchstfrequenz- und Optoelektronik notwendig. Optional wird ein Prozesssupport nach Abschluss der Umbauarbeiten angefragt.
Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage der Firma Aixtron für III-Nitrid und 2D-Halbleiter, inklusive Austausch von Prozesspumpe, Showerhead und Ventilen sowie Integration neuer Gasleitungen.
Bidder Requirements
Besondere Bedingungen
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Notice ID: 33590ebc-a8dd-4ccd-a7e7-8a22ae99d653