Beschaffung eines hochpräzisen Positionierungssystems für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse zur Erprobung von Magnetisierungskonzepten am DLR.

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) schreibt die Lieferung eines Positionierungssystems für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse aus. Ziel ist die Erprobung eines Magnetisierungskonzepts durch mikrometergenaue relative Positionierung von magnetischen Schreibköpfen auf Substraten. Das Gesamtsystem besteht aus einer XYR-Stage für laterale Translation und Rotation sowie einer Z-Achse für die vertikale Annäherung im Submikrometerbereich. Die mechanischen Aufnahmen müssen so ausgelegt sein, dass Schreibköpfe auf einem 150 mm Wafer jede Position erreichen können. Zudem ist die Nachrüstung für zwei weitere Schreibköpfe vorzusehen.

Beschaffung eines Positionierungssystems für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse. Das System umfasst eine XYR-Stage und eine Z-Achse zur mikrometergenauen Positionierung von magnetischen Schreibköpfen auf Substraten.