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Das IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt die Lieferung eines 200 mm Semi-Automatic RF Probe Systems für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz aus. Das System muss über eine integrierte kontrollierte Trockenatmosphäre zur Vermeidung von Kondensation, eine automatische Wafer-Größenerkennung (150 mm/200 mm) sowie hochpräzise XY- und Z-Stufen verfügen. Zu den technischen Anforderungen gehören eine Wiederholgenauigkeit von < 1,0 µm, eine integrierte Schwingungsisolierung und eine zentrale Bedienkonsole. Die Ausschreibung erfolgt im offenen Verfahren.
Beschaffung eines halbautomatischen 200 mm RF-Probesystems für On-Wafer-Messungen bis 250 GHz inklusive integrierter Trockenatmosphäre und präziser XY/Z-Positionierung.
Bidder Requirements
Besondere Bedingungen