Beschaffung einer Anlage für reaktives Ionenätzen (RIE) für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien der Universität Erlangen-Nürnberg.

Die Universität Erlangen-Nürnberg schreibt die Lieferung einer Anlage für reaktives Ionenätzen aus. Die Anlage ist für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien bestimmt und muss hochspezialisierte Anforderungen erfüllen, darunter Faraday Cage Etching, entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie, aktive Helium-Rückseitenkühlung sowie eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse. Ein Open-Load-Design ist für die Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern zwingend erforderlich, um die Handhabung irregulärer Probengeometrien zu ermöglichen.

Beschaffung einer Anlage für reaktives Ionenätzen (RIE) für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien. Die Anlage muss Faraday Cage Etching, Helium-Rückseitenkühlung, eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse sowie ein Open-Load-Design für die Bearbeitung von Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern unterstützen.