Tender Notice

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines vollautomatisierten Wafer-Photoresist-Strip- und Metall-Ätz-Nassprozess-Tools (PR1184925-3460-W) aus. Das System ist für den Einsatz in Dresden vorgesehen. Der Auftrag umfasst die Bereitstellung der Anlage inklusive technischer Spezifikationen. Die Vergabe erfolgt im Wege eines Verhandlungsverfahrens mit Teilnahmewettbewerb. Bieter müssen ihre Eignung nachweisen, insbesondere hinsichtlich des Umsatzes der letzten drei Geschäftsjahre. Die Zuschlagserteilung basiert zu 65% auf der technischen Ausführung und zu 35% auf dem Preis.

Beschaffung eines vollautomatisierten Wafer-Photoresist-Strip- und Metall-Ätz-Nassprozess-Tools für die Fraunhofer-Gesellschaft. Das Gerät dient der präzisen Bearbeitung von Wafern im Rahmen wissenschaftlicher Forschungsanwendungen.