Tender Notice
Notice ID: 8b32b5d9-ec06-40a4-bd75-f36d49f4bca7
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Project Overview
Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein. 1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD.
Project Location
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, DEU
Technische Details
Besondere Bedingungen
- Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Original Title: Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P