Beschaffung einer ALE-Trockenätzanlage inklusive Installation, Wartung und Support für das Ferdinand-Braun-Institut in Berlin zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern.

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH schreibt die Lieferung einer ALE-Trockenätzanlage (Atomic Layer Etching) inklusive Nebenleistungen wie Installation, Wartung und Support aus. Die Anlage ist für hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich bei der Bearbeitung von III-V-Halbleitern konzipiert und dient der Unterstützung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten. Der Auftrag umfasst die Bereitstellung eines Systems zur Sicherstellung modernster Fertigungsprozesse.

Beschaffung einer ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern für Forschungs- und Entwicklungszwecke am Ferdinand-Braun-Institut.