Lieferung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für das Institut für Physik der Universität Oldenburg zur Herstellung optischer und metallischer Schichten.

Die Universität Oldenburg schreibt die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage aus. Das Gerät soll am Institut für Physik (Campus Wechloy) eingesetzt werden, um hochhomogene optische und metallische Beschichtungen auf strukturierten und planen Substraten zu erzeugen. Zu den technischen Anforderungen gehören die Herstellung von Bragg-Spiegeln (Titandioxid/Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid/Siliziumdioxid) mit bis zu 40 Einzellagen, eine Gesamtschichtdicke von bis zu 5µm, ein thermischer Verdampfer für Metallschichten sowie eine Ionenquelle zur Substratreinigung. Zudem ist eine Schnittstelle zur Anbindung an ein vorhandenes Reflektometriesystem für In-Situ-Messungen erforderlich.

Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für das Institut für Physik der Universität Oldenburg. Die Anlage dient der Herstellung homogener optischer und metallischer Beschichtungen, insbesondere Bragg-Spiegel, sowie der Substratreinigung mittels Ionenquelle.