Beschaffung eines Hochtemperatur/ LP-CVD Systems für die Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie an der Westsächsischen Hochschule Zwickau inklusive 8 Prozessstationen für Siliziumwafer.

Die Westsächsische Hochschule Zwickau schreibt die Lieferung eines Hochtemperatur/ LP-CVD Systems für die Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie aus. Das System besteht aus 8 Prozessstationen mit automatischer Beladung, ausgelegt für monokristalline Siliziumwafer (100mm und 150mm). Die Anlage muss eine präzise Temperaturregelung (max. +/-1 K Abweichung) gewährleisten und umfasst diverse Prozessmodule wie Oxidation und Dotierung (n-Typ/p-Typ). Technische Anforderungen beinhalten eine CE-Zertifizierung, Einhaltung der EU-Maschinenrichtlinie, integrierte Sicherheits- und Überwachungssysteme sowie eine vollständige Anlagendokumentation. Die Gesamtanlage muss innerhalb eines definierten Footprints von 400cm x 600cm x 295cm untergebracht werden.

Beschaffung eines Hochtemperatur/ LP-CVD Systems für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Die Anlage umfasst 8 Prozessstationen für die Bearbeitung von Siliziumwafern (100mm/150mm) inklusive Gaszufuhr, Steuerung und Sicherheitseinrichtungen.