Beschaffung eines UHV-Cluster-Systems zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern für die Technische Universität München.
- Contracting Authority
- Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
- Location
- Bayern, Garching
- Submission deadline
- 05.10.2026
- Scope
- EU-wide
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Project Overview
Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23/WMI, schreibt die Beschaffung eines UHV-Cluster-Systems zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern aus. Das System muss UHV-Bedingungen gewährleisten und umfasst eine HV-Schleusenkammer, eine zentrale Handhabungskammer sowie diverse UHV-Kammern für Sputtern, Oxidation, Ar-Ionen-Ätzen und Aluminium-Aufdampfung. Besondere Anforderungen bestehen hinsichtlich der beidseitigen Metallisierung der Wafer in situ und einer kontaminationsarmen Handhabung mittels Edge-Gripping.
Beschaffung eines UHV-Cluster-Systems zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern für den Lehrstuhl für Technische Physik E23 der Technischen Universität München.
Project Location
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