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Der Forschungsverbund Berlin e.V. schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Cz-Züchtungsanlage (Czochralski-Verfahren) zur Züchtung von Fluorid-Einkristallen aus. Das System ist für den Einsatz in einer Forschungsumgebung konzipiert und muss Hochvakuum-Prozesse (bis <1x10-6 mbar) sowie eine Prozessführung bei leichtem Überdruck ermöglichen. Zu den technischen Anforderungen gehören eine wassergekühlte, elektropolierte Edelstahlkammer, eine Graphit-Widerstandsheizung für Tiegel bis 200 mm Durchmesser und die Verarbeitung von Argon und CF4 als Prozessgase. Der Auftrag umfasst zudem die Dokumentation, Abnahme sowie Serviceleistungen. Das maximale Budget beträgt 580.000 EUR netto.
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Czochralski-Züchtungsanlage für Fluorid-Einkristalle in einer Forschungsumgebung. Das System umfasst eine wassergekühlte Edelstahlkammer für Hochvakuumprozesse und ermöglicht die Herstellung von Kristallen bis 100 mm Durchmesser.
Bidder Requirements
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