Lieferung einer Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord des KIT in Eggenstein-Leopoldshafen.

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung einer Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord des Karlsruher Instituts für Technologie (KIT) in Eggenstein-Leopoldshafen. Die Anlage muss spezifische technische Anforderungen erfüllen, die in der Anlage A detailliert beschrieben sind. Die Wertung der Angebote erfolgt in drei Stufen, wobei die technischen Mindestanforderungen als zwingende KO-Kriterien gelten und der Preis das ausschlaggebende Zuschlagskriterium unter den qualifizierten Angeboten darstellt. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, während der Anschluss der Medien (Hook-up) bauseits durch das KIT erfolgt.

Lieferung einer Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord des KIT in Eggenstein-Leopoldshafen.