Beschaffung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters für die Fraunhofer-Gesellschaft in Erlangen inklusive Wartungsoptionen.

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters aus. Der Leistungsumfang beinhaltet neben dem Gerät selbst spezifische Optionen wie alternative Ionenquellen, ein Messsystem zur Bestimmung der SiC-Ausrichtung für Channeling-Implantationen sowie einen zweijährigen Wartungsvertrag mit Verlängerungsoptionen. Die Vergabe erfolgt nach technischen Qualitätskriterien (65%) und dem Preis (35%).

Beschaffung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters für Forschungszwecke. Der Auftrag umfasst die Lieferung sowie optionale Komponenten wie Ionenquellen, Messsysteme für Channeling-Implantation und einen Wartungsvertrag.