Notice ID: f2dc26ad-790e-4673-bd03-402bf58821ab
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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines Plasma Activation Tools (IPMS-MRS14.3) aus. Der Auftragsgegenstand umfasst ein Gerät zur Plasmaaktivierung, das für den Betrieb in einem Reinraum (min. ISO4) ausgelegt ist. Technische Anforderungen beinhalten die Handhabung von 300mm Wafern sowie bandmontierten Wafern mit Dicing-Rahmen. Optional wird eine Garantieverlängerung auf insgesamt 24 Monate gefordert. Die Zuschlagskriterien sind zu gleichen Teilen (50/50) auf technische Ausführung und Preis verteilt.
Beschaffung eines Plasma Activation Tools (IPMS-MRS14.3) für den Einsatz in einem Reinraum. Das Gerät muss Wafer-Größen bis 300mm handhaben können, inklusive Optionen für erweiterte Garantie und spezifische Halterungen für bandmontierte Wafer.
Bidder Requirements
Besondere Bedingungen