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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Beschaffung eines feldfreien (ohne Immersionsoptik) fokussierten Ionenstrahlsystems (FIB-SEM) in Kombination mit einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop aus. Das System dient der Strukturierung, Nanostrukturierung sowie der Querschnitts- und Oberflächenanalyse von III/V-Halbleitern, LNOI, Polymeren und Resists. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Installation sowie die Durchführung von Raummessungen (Bodenvibrationen, akustische und magnetische Störungen) am Aufstellungsort in Berlin. Der Bieter ist verpflichtet, die Einhaltung der Gerätespezifikationen durch entsprechende Vorbereitungsmaßnahmen sicherzustellen. Optional sind eine 15-tägige Fortgeschrittenenschulung, ein Gasinjektionssystem sowie ein Softwaremodul zum Import von KLAF-Dateien enthalten.
Beschaffung eines feldfreien FIB-SEM Dualbeam-Systems inklusive Installation und Durchführung von Raummessungen (Bodenvibrationen, akustische und magnetische Störungen) am Standort Berlin.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen