Ausschreibung

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RT

Robert Tech

Geschäftsführer

assecor GmbH

Veröffentlicht
vor 3T
Heute
Teilnahme
in 27T
01109 Dresden
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Projektübersicht

Lieferung eines ALD Systems (Dielectric) (IPMS-CNT06.1). Das System dient zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit 300 mm Durchmesser. Das System ist für den Einsatz in einem Halbleiter Reinraumumfeld (mind. ISO4) konzipiert. Optionale Positionen sind gemäß Technical Tender Specification vorgesehen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien technische Ausführung (60%) und Preis (40%). Das Verfahren ist ein nicht offenes Verfahren mit Teilnahmewettbewerb. Die Angebotsfrist endet am 20.03.2026.

System zum Aufbringen von Schichten. Waferdurchmesser 300 mm. Halbleiter Reinraum ISO4. Metallnitride und dielektrische Schichten.

Standort Projekt
01109 Dresden, DEU
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Originaltitel: ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1146101-2480-P
deen