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PVT-Reaktor für AlN-Kristallherstellung. Hochtemperatur-Ofensystem in Doppelwandreaktor-Quarzglas-Bauweise. Innendurchmesser mind. 255mm. Induktions-HF-Heizung. Bodenbeschickungssystem für 20kg Lasten. Normalbetrieb bei Temperaturen bis 2500°C, 1-1000 mbar. Dauerbetrieb mind. 240h. Konstruktion für staubhaltige Abgase, einfache Reinigung. Abmessungen: Grundfläche max. 1,2 x 2,1 m, Höhe max. 3 m (Transport < 2,1 m).
PVT-Reaktor für AlN-Kristallherstellung. Hochtemperatur-Ofensystem in Doppelwandreaktor-Quarzglas-Bauweise. Innendurchmesser mind. 255mm. Induktions-HF-Heizung. Bodenbeschickungssystem für 20kg Lasten.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen