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Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (REM). Das SEM muss 8-Zoll Proben verarbeiten können. Es muss aus Elektronenoptik, Probenkammer mit integrierter Schleuse, Stage, eigenem Kühlsystem, Detektoren, Vakuumsystem, Steuerrechner und der entsprechenden Ansteuersoftware bestehen. Besondere Aufmerksamkeit gilt der Flexibilität bei der Untersuchung nichtleitender Proben. Die Lieferung und Installation erfolgt innerhalb von 6 Monaten nach Zuschlag. Wartung für ein Jahr gemäß LV.
Neubau eines Rasterelektronenmikroskops. Hochauflösende Abbildung fester Proben. Verarbeitung von 8-Zoll Proben.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen