Beschaffung eines halbautomatischen Wafer-Prober-Systems zur elektrischen und hochfrequenten Charakterisierung von 200-mm-Wafern für das IHP-Institut in Frankfurt (Oder).

Das IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines halbautomatischen Wafer-Prober-Systems aus. Das System dient der elektrischen und hochfrequenten Charakterisierung von 200-mm-Wafern in der Forschung. Der Leistungsumfang umfasst ein System mit Vakuum-Chuck, Präzisions-Positionierung, RF-Messfähigkeit bis 6 GHz, automatisierter Mikroskopie, Kameraausstattung sowie die zugehörige Steuerungssoftware. Zudem sind Transport, Montage, Inbetriebnahme, Schulung, Dokumentation sowie die Bereitstellung von Ersatzteilen und Gewährleistung gefordert. Das System muss in die bestehende Labor- und IT-Infrastruktur integrierbar sein und CE- sowie EMV-Anforderungen erfüllen.

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines halbautomatischen Wafer-Prober-Systems zur elektrischen und hochfrequenten Charakterisierung von 200-mm-Wafern für Forschungs- und Laborzwecke am IHP.