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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Beschaffung eines feldfreien FIB-SEM Dualbeam-Systems (HHI-01) aus. Das System dient der Strukturierung, Nanostrukturierung sowie der Querschnitts- und Oberflächenanalyse von III/V-Halbleitern, LNOI, Polymeren und Resists. Der Leistungsumfang umfasst neben der Lieferung und Installation auch die Durchführung von Raummessungen (Bodenvibrationen, akustische und magnetische Störungen) am Standort Einsteinufer 37 in Berlin, um die Einhaltung der Gerätespezifikationen zu gewährleisten. Optionale Leistungen beinhalten eine 15-tägige Fortgeschrittenenschulung, ein Gasinjektionssystem sowie ein Softwaremodul zum Import von KLAF-Dateien.
Beschaffung eines feldfreien FIB-SEM Dualbeam-Systems zur Nanostrukturierung und Analyse von Halbleitermaterialien. Inklusive Raummessungen hinsichtlich Bodenvibrationen, akustischer und magnetischer Störungen sowie Installationsvorbereitungen am Standort Berlin.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen