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Upgrade des bestehenden Prozessüberwachungssystems mesc21-11. Inkludiert Nanofocus Topographie Messsystem. Automatische Handhabung von 300mm und 200mm Wafern. Integration in bestehende Messwerkzeuge. FOUP-Handling für 300mm Wafer. Adapter für 200mm Wafer in 300mm FOUP.
Upgrade von bestehendem Prozessüberwachungssystem. Messsystem Nanofocus Topographie seriennummer 700259. Automatische Handhabung von Wafern in separatem Gehäuse.
Anforderungen an den Bieter
Rollenqualifikationen
Besondere Bedingungen