Deinstallation, Verlagerung, Wiederinstallation und Inbetriebnahme eines DualBeam-FIB-SEM-Systems (TESCAN GAIA3 GMH) inklusive technischer Standortmessungen und Performance-Abnahme durch die Fraunhofer-Gesellschaft.

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Deinstallation, Verlagerung, Wiederinstallation, Inbetriebnahme sowie Kalibrierung und Leistungsabnahme eines vorhandenen DualBeam-FIB-SEM/FIB-REM-Systems (Modell TESCAN GAIA3 GMH) aus. Zum Leistungsumfang gehören die Einbindung vorhandener Systemkomponenten wie Kleindiek-Mikromanipulator, Oxford-EDX-Detektor und TOFWERK-TOF-SIMS. Zudem sind Standort- und Raummessungen hinsichtlich Bodenschwingungen, akustischer Einflüsse sowie magnetischer und elektromagnetischer Störfelder durchzuführen. Soweit erforderlich, sind technische Entstörungs- und Kompensationsmaßnahmen zu planen und umzusetzen. Nach der Wiederinstallation ist die technische Integrität durch dokumentierte Funktions-, Vakuum-, Auflösungs-, Kalibrierungs- und Performanceprüfungen einschließlich Site Acceptance Test nachzuweisen.

Deinstallation, Verlagerung, Wiederinstallation und Inbetriebnahme eines DualBeam-FIB-SEM-Systems (TESCAN GAIA3 GMH) inklusive Peripheriekomponenten wie Mikromanipulator und EDX-Detektor. Der Auftrag umfasst zudem Standortmessungen hinsichtlich Schwingungen und elektromagnetischer Störfelder sowie die Durchführung von Performance- und Abnahmeprüfungen.