Ausschreibung

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein feldfreies (ohne Immersionsoptik) fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB-SEM) in Kombination mit einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop (SEM). Das System dient der Strukturierung, Nanostrukturierung sowie der Querschnitts- und Oberflächenanalyse von III/V-Halbleitern, LNOI, Polymeren und Resists. Neben der Lieferung des Geräts sind am Aufstellungsort in Berlin Raummessungen hinsichtlich Bodenvibrationen, akustischer Störungen und magnetischer Interferenzen durchzuführen. Der Bieter muss sicherstellen, dass die Gerätespezifikationen durch entsprechende Vorbereitungsmaßnahmen am Standort eingehalten werden. Zusätzlich sind Optionen für Schulungen, Gasinjektionssysteme und Softwaremodule enthalten.

Beschaffung eines feldfreien FIB-SEM Dualbeam-Systems inklusive Rasterelektronenmikroskop für die Halbleiterforschung. Der Auftrag umfasst neben der Lieferung auch die Durchführung von Raummessungen (Bodenvibrationen, akustische und magnetische Störungen) am Aufstellungsort in Berlin.