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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines vollautomatischen Wafer-Photoresist-Strip- und Metall-Ätz-Nasswerkzeugs (Wet Tool) aus (Referenz: PR1184925-3460-W). Der Auftragsgegenstand umfasst die Bereitstellung und Implementierung der Anlage am Standort Dresden. Die Vergabe erfolgt im Rahmen eines Verhandlungsverfahrens. Die Zuschlagserteilung basiert zu 65% auf der technischen Ausführung und zu 35% auf dem Preis. Die Vertragslaufzeit beträgt 16 Monate.
Beschaffung eines vollautomatischen Wafer-Photoresist-Strip- und Metall-Ätz-Nasswerkzeugs (Wet Tool) für die Fraunhofer-Gesellschaft. Das Gerät dient der präzisen Bearbeitung von Wafern im Rahmen wissenschaftlicher Forschungsanwendungen.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen