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Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines Facet passivation and coating system (HHI-08) aus. Das System ist für die Abscheidung optischer Funktionsbeschichtungen auf optoelektronischen Halbleiterbauelementen vorgesehen, insbesondere für Antireflexbeschichtungen und die Facettenpassivierung von Hochleistungslasern. Aufgrund der Empfindlichkeit der Facettenoberflächen ist ein plasmaunterstütztes Abscheidungsverfahren mittels Elektronenzyklotronresonanz (ECR) zwingend erforderlich, um die Ionenprallenergie zu reduzieren. Zum Lieferumfang gehören Optionen wie eine erweiterte Garantie, Spektralsysteme, Messbereiche, Flip-Mechanismen und Kühlsysteme.
Beschaffung eines plasmaunterstützten ECR-Beschichtungssystems zur Facettenpassivierung und Aufbringung optischer Funktionsbeschichtungen auf Halbleiterbauelemente. Das System dient der schonenden Beschichtung von Hochleistungslasern zur Vermeidung thermischer Schäden.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen