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Die Universität Stuttgart schreibt die Lieferung einer Anlage zur Mikrowellenplasma-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) von Diamantfilmen aus. Die Anlage soll für Forschungszwecke eingesetzt werden. Bieter müssen ihre technische Leistungsfähigkeit durch drei Referenzen aus dem Hochschul- oder Forschungsumfeld nachweisen, die den Einsatz ähnlicher Anlagen zur Diamantabscheidung belegen. Die Bewertung der Angebote erfolgt anhand von Preis (30%), Homogenität der Beschichtung (60%) und der vorhandenen Plasmacharakterisierung mittels optischer Emissionsspektroskopie (10%).
Beschaffung einer Anlage zur Mikrowellenplasma-gestützten chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) von Diamantfilmen für die Universität Stuttgart.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen