Bekanntmachungs-ID: bfa3937b-2a19-4fad-9a23-9d6f31a56b60
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Ausschreibung für einen LPCVD Cluster. Die Lieferung und Installation erfolgt in Dresden. Der Cluster dient zur Forschung und Entwicklung. Es werden Optionen für Wafer-Dicke und erweiterte Garantie angeboten. Die Hauptkriterien sind technische Ausführung (65%) und Preis (35%). Die Frist für Angebote ist der 10. April 2026.
LPCVD Cluster (TEOS/nitride/poly/oxidation) für Forschung. Reinraum Geb. 4, Ebene 3. Dresden, Sachsen.
Anforderungen an den Bieter