Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter an der Universität Duisburg-Essen inklusive technischer Umbaumaßnahmen und optionalem Prozesssupport.

Die Universität Duisburg-Essen schreibt die Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage (Metallorganische Gasphasenepitaxie) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) aus. Ziel ist die Anpassung der Anlage für aktuelle und kommende Forschungsprojekte im Bereich III-Nitrid und 2D-Halbleiter. Der Leistungsumfang umfasst den Austausch der Prozesspumpe, des Showerhead-Gaseinlasses und von Rückschlagventilen sowie die Integration von Leitungen für Triethylboran und Ethen inklusive Arbeiten am Gas-Panel. Optional wird ein Prozesssupport zur Wiederaufnahme des Anlagenbetriebs und zur Optimierung von Prozessparametern angefragt.

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage der Firma Aixtron für III-Nitrid und 2D-Halbleiter an der Universität Duisburg-Essen. Der Auftrag umfasst den Austausch von Prozesskomponenten wie Prozesspumpe, Showerhead und Ventilen sowie die Integration neuer Gasleitungen.