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Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) schreibt die Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für 150mm und 200mm Wafer aus. Die Anlage ist für den Einsatz in der iLine- und E-Beam-Lithografie vorgesehen. Ziel ist die Entwicklung neuartiger Prozesse in Forschungsprojekten sowie die Realisierung von Klein- und Pilotserien. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.
Beschaffung einer Belackungs- und Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern für die iLine- und E-Beam-Lithografie inklusive optionalem Vollwartungsvertrag.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen