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Beschaffung eines SEM mit integrierter EBL-Funktionalität. Fokus auf Herstellung, Vertrieb und Service dieser Systeme. Lieferung und Implementierung. Langfristige Wartung und Support. Schulung des Bedienpersonals.
Beschaffung eines Scanning Electron Microscopy Systems mit integrierter Elektronenstrahllithographie. Details siehe Vergabeunterlagen und Lastenheft.
Anforderungen an den Bieter