Ausschreibung
Bekanntmachungs-ID: ef2e79cc-0602-4d5d-a4f4-2589fb4c48e8
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Kauf eines Cluster-Systems für die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Das System umfasst ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammern. Es ist für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt. Die Laufzeit des Projekts beträgt 6 Monate. Die Vergabe erfolgt als offenes Verfahren. Die Angebote müssen bis zum 13.02.2026, 09:30 Uhr eingereicht werden. Die Zuschlagskriterien sind Technik (65%) und Preis (35%).
Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern.
Anforderungen an den Bieter
- Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
- Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Besondere Bedingungen
- Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter 'Ausschreibungsbedingungen' aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.