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Beschaffung einer Anlage zur physikalischen Gasphasenabscheidung organischer Schichten. Die Anlage soll Halbleiter und Metalle abscheiden. Integration in ein bestehendes Gloveboxsystem ist erforderlich. Die maximale Breite der Aufstellfläche beträgt 620cm inklusive Bestandsmodul. Die Deckenhöhe für den Aufbau beträgt 290cm. Die Anlage ist für den Einsatz in der Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik bestimmt. Sie erfordert Aufbau und Betrieb innerhalb eines bestehenden Gloveboxsystems mit Gasreinigung. Der Projektstandort ist Zwickau. Die Ausschreibung richtet sich an Unternehmen mit Erfahrung in der Bereitstellung solcher Anlagen.
Anlage zur physikalischen Gasphasenabscheidung. Organische Halbleiter und Metalle. Einbindung in Gloveboxsystem.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen