Ausschreibung

Das Fraunhofer IAF schreibt die Anschaffung eines Evaporation Systems (IAF-06.1) aus. Es handelt sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung mittels Elektronenstrahl (E-Beam). Die Anlage muss für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein und sowohl vertikale als auch schräge Metallabscheidungen (Substrat um 45 Grad geneigt) ermöglichen. Die Steuerung erfolgt über eine Computersoftware. Bieter müssen Referenzen für mindestens drei vergleichbare Systeme aus den letzten drei Jahren vorlegen.

Beschaffung einer wassergekühlten Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage (E-Beam) für die Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern im Hochvakuum. Die Anlage ermöglicht vertikale und schräge Metallabscheidungen bei einer Substratneigung von 45 Grad.