Tender Notice
Notice ID: 024398be-447d-4907-be3e-f51692d1d125
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Project Overview
Beschaffung einer reaktiven Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP). Anlage zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium (DRIE). Geeignet für 100 mm und 150 mm Wafer. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung sind Teil des Auftrags. Sowohl neue als auch neuwertige gebrauchte Systeme sind zulässig.
Beschaffung von Anlagen zur Mikrostrukturierung. Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit ICP. Ätzen von Siliziumsubstraten.
Project Location
Reinraum Universität Ulm, 89081 Ulm, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 1.000.000,00 €
Nach RBBau - Näheres entnehmen Sie bitte der beigefügten Bewertungsmatrix.
Eignung
Bidder Requirements
- Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
- Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Role Qualifications
- ISO 9001 Zertifizierung
Technische Details
HOAI AG1AG2AG3AG7AG8
Besondere Bedingungen
- Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)
- Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz)
- Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation)
Original Title: DRIE-Anlage