Ausschreibung

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MK

Mario Kötter

Projektleiter

cadventure GmbH

Veröffentlicht
vor 23T
Heute
Abgabe
in 6T
89081 Ulm
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Köln)
subreport.de
Projektübersicht

Beschaffung einer reaktiven Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP). Anlage zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium (DRIE). Geeignet für 100 mm und 150 mm Wafer. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung sind Teil des Auftrags. Sowohl neue als auch neuwertige gebrauchte Systeme sind zulässig.

Beschaffung von Anlagen zur Mikrostrukturierung. Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit ICP. Ätzen von Siliziumsubstraten.

Standort Projekt
Reinraum Universität Ulm, 89081 Ulm, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 1.000.000,00 €
Nach RBBau - Näheres entnehmen Sie bitte der beigefügten Bewertungsmatrix.
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV

Rollenqualifikationen

  • ISO 9001 Zertifizierung
Technische Details
HOAI AG1AG2AG3AG7AG8

Besondere Bedingungen

  • Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)
  • Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz)
  • Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation)
Originaltitel: DRIE-Anlage
deen