Tender Notice

Notice ID: 129e2c11-a090-4911-8b03-31b84a7ef34e

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RT

Robert Tech

CEO

assecor GmbH

Published
30d ago
Submission
8d ago
Today
79108 Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Project Overview

Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Cluster-Systems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammern. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein. Es werden Angebote für ein Cluster-System mit ALD, PECVD und ICP-CVD Kammern für die Bearbeitung von 150mm Wafer gesucht. Das Vergabeverfahren ist offen. Die Angebotsfrist endet am 13.02.2026.

1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD. Fraunhofer IAF plant Anschaffung eines Cluster-Systems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammern. System für 150-mm-Wafer-Bearbeitung.

Project Location
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, DEU
Eignung

Bidder Requirements

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV

Role Qualifications

  • Architekt mit Bauvorlageberechtigung
  • Ingenieur mit 5 Jahren Erfahrung
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter 'Ausschreibungsbedingungen' aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Original Title: Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P
deen