Ausschreibung

Bekanntmachungs-ID: 129e2c11-a090-4911-8b03-31b84a7ef34e

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CT

Christin Tech

Geschäftsführerin

Cybay New Media GmbH

Veröffentlicht
vor 30T
Abgabe
vor 8T
Heute
79108 Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Projektübersicht

Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Cluster-Systems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammern. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein. Es werden Angebote für ein Cluster-System mit ALD, PECVD und ICP-CVD Kammern für die Bearbeitung von 150mm Wafer gesucht. Das Vergabeverfahren ist offen. Die Angebotsfrist endet am 13.02.2026.

1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD. Fraunhofer IAF plant Anschaffung eines Cluster-Systems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammern. System für 150-mm-Wafer-Bearbeitung.

Standort Projekt
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, DEU
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV

Rollenqualifikationen

  • Architekt mit Bauvorlageberechtigung
  • Ingenieur mit 5 Jahren Erfahrung
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter 'Ausschreibungsbedingungen' aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Originaltitel: Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P
deen