Tender Notice

Notice ID: 1653ed3e-9f23-49d7-8daf-51ce023ca9ca

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"Tender Zen is a huge help and makes the analysis so much easier."

FS

Friedrich Sommer

Sales Coordinator

LOUPZ GmbH & Co. KG

Published
46d ago
Participation
14d ago
Today
Contract Start
in 413d
01468 Dresden-Moritzburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
vergabe.fraunhofer.de
Project Overview

Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large Field Exposure Systems (IZM-132) aus. Das System dient als Verbindung zwischen FEOL- und Backend-Lithografie und ist für die Fertigung von ultra-hochdichten BEOL-Strukturen im Sub-µm-Bereich (z.B. Verdrahtungen für 2,5D/3D-QMI- und Chiplet-Integration) konzipiert. Die Anlage muss eine hohe Overlay-Genauigkeit (<100 nm) sowie variable Schärfentiefe für dicke Resists bieten. Optionale Anforderungen umfassen IR-basierte Rückseitenausrichtung, Korrektur von Verformungen bei gestapelten Wafern und ein musterbasiertes Erkennungssystem. Die Lieferung ist für den Zeitraum Juli bis Oktober 2027 geplant.

Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large Field Exposure Systems (i-Line Lithographie) für Forschungszwecke zur Herstellung von ultra-hochdichten BEOL-Strukturen und Chiplet-Integration.

Project Location
01468 Dresden-Moritzburg, Deutschland
Eignung

Bidder Requirements

  • Referenz von mindestens 5 Geräten/Projekten im i-Line Lithographie Bereich nicht älter als 3 Jahre
  • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB
  • Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
  • Nachweis Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Einsatz von Nachunternehmern muss benannt und deren Eignung nachgewiesen werden
  • Bewertung nach technischer Spezifikation (65%) und Preis (35%)
Original Title: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
deen