Ausschreibung

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FS

Friedrich Sommer

Vertriebskoordinator

LOUPZ GmbH & Co. KG

Veröffentlicht
vor 1T
Heute
Teilnahme
in 31T
Vertragsbeginn
in 458T
01468 Dresden-Moritzburg
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 (München)
Projektübersicht

Beschaffung eines 300-mm-Belichtungssystems für BEOL. Ziel sind ultrahochdichte BEOL-Strukturen. Es verbindet FEOL- und Backend-Lithografie. Das System unterstützt 2,5D/3D-QMI- und Chiplet-Integration. Es ermöglicht hochdichte Integration auf Wafer-Level-Systemen. Das System nutzt mittlere NA-Optik mit großem Feld. Es erreicht Auflösungen unter 800 nm L/S. Ziel sind Auflösungen bis 500 nm L/S. Overlay-Genauigkeit liegt unter 100 nm. Es ist für Front- und Back-Alignment ausgelegt. Es steuert den Fokus. Eine variable Schärfentiefe ist verfügbar. Optionale Features sind verfügbar: extremer Verformungsbereich, IR-basierte Rückseiten-Alignment, Vorausrichtungs-Korrektur, musterbasiertes Erkennungssystem, Grob- und Feinausrichtung. Das System ist für SME geeignet.

Standort Projekt
01468 Dresden-Moritzburg, DEU
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen von mindestens 5 Geräten / Projekten mit vergleichbarer technologischer Funktionalität im i-Line Lithographie Bereich nicht älter als 3 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe 300mm Wafergröße ja/nein, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind.
  • Darstellung der Firma: Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht -> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder.
  • 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB
  • 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
  • Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
  • Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Originaltitel: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
deen