Notice ID: 25581786
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Die Beschaffung umfasst den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool, bestehend aus einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und zwei PVD-Kammern. Die Installation beinhaltet die Gase Argon, Stickstoff (6.0 und 5.0), Sauerstoff, Helium und Druckluft sowie vier Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen inklusive Einbindung in die Abluft. Für Helium ist die Errichtung eines Druckminderer-Tableaus erforderlich, während für die übrigen Gase bestehende Leitungen erweitert werden.
Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung für ein Cluster-Tool mit Ionenstrahlstrukturierung und PVD-Kammern am Standort Chemnitz.