Ausschreibung

Bekanntmachungs-ID: 25581786

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"Das Onboarding hat mich beeindruckt – Tender Zen hat ein Suchprofil direkt von unserer Unternehmenswebsite erstellt."

LM

Leon Müller

Business Development Manager

MaibornWolff GmbH

Anschluss eines Cluster-Tools an die Gas- und Vakuumversorgung inklusive Installation von Gasleitungen, Vakuumleitungen und Druckminderer-Tableaus am Standort Chemnitz.

National GasversorgungVakuumtechnikCluster-ToolPVD-KammerIonenstrahlstrukturierung
Veröffentlicht
vor 2T
Heute
Abgabe
in 12T
Fraunhofer ENAS
Projektübersicht

Die Beschaffung umfasst den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool, bestehend aus einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und zwei PVD-Kammern. Die Installation beinhaltet die Gase Argon, Stickstoff (6.0 und 5.0), Sauerstoff, Helium und Druckluft sowie vier Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen inklusive Einbindung in die Abluft. Für Helium ist die Errichtung eines Druckminderer-Tableaus erforderlich, während für die übrigen Gase bestehende Leitungen erweitert werden.

Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung für ein Cluster-Tool mit Ionenstrahlstrukturierung und PVD-Kammern am Standort Chemnitz.

Standort Projekt
09126 Chemnitz, Deutschland
Originaltitel: Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
deen