Tender Notice

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LM

Leon Müller

Business Development Manager

MaibornWolff GmbH

Published
Today
Questions
in 25d
Submission
in 34d
30823 Garbsen
Leibniz Universität Hannover (Hannover)
dtvp.de
Project Overview

Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage. Clustersystem für reproduzierbares Abscheiden von Dünnschichten. Vollautomatisiertes Sputterclustersystem mit Schleusenkammer, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern. Heizsysteme und optische Emissionsspektrometer (OES) in Prozesskammern. Co-Abscheidung von bis zu vier Quellmaterialien. Konfokale Anordnung der Targets. Substratgröße von Chiplevel bis 200 mm Wafern. Drehbarer Substrathalter. Aufstellung im Reinraum Klasse ISO 5. Erw. um kompatibles Ionenstrahlätzsystem (IBE). Nachhaltigkeitsziele: Abfallvermeidung, Schadstoffminimierung, Abfallverwertung, Ressourcenschutz, Energie- und Wassereinsparung. Hauptgerät, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme, Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR brutto. Zuschlag nach wirtschaftlichstem Angebot. Kriterien aus Leistungsverzeichnis. A-Kriterien: Ausschlusskriterien. B-Kriterien: Bewertungskriterien mit Gewichtung. Niedersächsisches Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG) gilt. Angebot bis 08.04.2026, 10:00 Uhr. Zuschlagsfrist: 28.05.2026. Bindungsfrist bis Zuschlagserteilung.

Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung.

Project Location
An der Universität 2, 30823 Garbsen, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 1.500.000,00 €
Eignung

Bidder Requirements

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Alle Liefertermine, die vor dem 01.07.2027 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet
Original Title: Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
deen