Ausschreibung

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CT

Christin Tech

Geschäftsführerin

Cybay New Media GmbH

Veröffentlicht
Heute
Fragen
in 25T
Abgabe
in 34T
30823 Garbsen
Leibniz Universität Hannover (Hannover)
dtvp.de
Projektübersicht

Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage. Clustersystem für reproduzierbares Abscheiden von Dünnschichten. Vollautomatisiertes Sputterclustersystem mit Schleusenkammer, Transferkammer, Heizkammer und zwei Prozesskammern. Heizsysteme und optische Emissionsspektrometer (OES) in Prozesskammern. Co-Abscheidung von bis zu vier Quellmaterialien. Konfokale Anordnung der Targets. Substratgröße von Chiplevel bis 200 mm Wafern. Drehbarer Substrathalter. Aufstellung im Reinraum Klasse ISO 5. Erw. um kompatibles Ionenstrahlätzsystem (IBE). Nachhaltigkeitsziele: Abfallvermeidung, Schadstoffminimierung, Abfallverwertung, Ressourcenschutz, Energie- und Wassereinsparung. Hauptgerät, Montage, Inbetriebnahme, Abnahme, Einweisung. Gewünschter Liefertermin: 01.07.2027. Höchstpreis: 1.500.000,00 EUR brutto. Zuschlag nach wirtschaftlichstem Angebot. Kriterien aus Leistungsverzeichnis. A-Kriterien: Ausschlusskriterien. B-Kriterien: Bewertungskriterien mit Gewichtung. Niedersächsisches Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG) gilt. Angebot bis 08.04.2026, 10:00 Uhr. Zuschlagsfrist: 28.05.2026. Bindungsfrist bis Zuschlagserteilung.

Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung.

Standort Projekt
An der Universität 2, 30823 Garbsen, DEU
Finanzen
Geschätztes Honorar 1.500.000,00 €
Eignung

Anforderungen an den Bieter

  • Referenzen nach §75 Abs. 5 VgV
  • Mindestjahresumsatz nach §45 VgV
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Alle Liefertermine, die vor dem 01.07.2027 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet
Originaltitel: Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
deen