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Beschaffung eines Elektronenstrahllithografie-Systems (EBL) mit integrierten REM-Funktionen für die Universität Erlangen-Nürnberg.

Contracting Authority
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Location
Bayern, Erlangen
Submission deadline
23.11.2026
Scope
EU-wide
Timeline
Published
Today
Questions
in 22d
Submission
in 32d
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Source: evergabe.bayern.de Published on: 22.10.2026 Original Title: Elektronenstrahllithografie

Project Overview

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung eines Elektronenstrahllithografie-Systems (EBL), welches über integrierte Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM) verfügt. Das System ist für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien der Universität Erlangen-Nürnberg bestimmt. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren, wobei der Preis mit 60% und die Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog mit 40% in die Wertung einfließen.

Beschaffung eines Elektronenstrahllithografie-Systems (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM) für die Universität Erlangen-Nürnberg.

Project Location
91052 Erlangen, Deutschland

Suitability & requirements

Bidder Requirements

  • Ausschlussgründe nach § 123, 124 GWB
  • Eignungsnachweise nach § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A

Technical details

Besondere Bedingungen

  • Elektronische Angebotsabgabe erforderlich
  • Preisgewichtung 60%
  • Qualitätsbewertung 40%

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Notice ID: 6b5502d3-15f4-45f5-97fc-2fa2fd3ca33b

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