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Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung eines Elektronenstrahllithografie-Systems (EBL), welches über integrierte Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM) verfügt. Das System ist für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien der Universität Erlangen-Nürnberg bestimmt. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren, wobei der Preis mit 60% und die Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog mit 40% in die Wertung einfließen.
Beschaffung eines Elektronenstrahllithografie-Systems (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM) für die Universität Erlangen-Nürnberg.
Anforderungen an den Bieter
Besondere Bedingungen
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Bekanntmachungs-ID: 6b5502d3-15f4-45f5-97fc-2fa2fd3ca33b