Tender Notice

Notice ID: 74b4b6a8-765f-46d2-a0b3-07344fa28025

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LM

Leon Müller

Business Development Manager

MaibornWolff GmbH

Published
Today
Submission
in 31d
89081 Ulm
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Köln)
subreport.de
Project Overview

Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) beschafft für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien in Ulm eine Laserlithographie-Anlage. Diese dient der Etablierung einer kompletten Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip. Die Anlage ermöglicht eine hochauflösende direkte Lithographie auf dem Zielsubstrat sowie die Herstellung von UV-Lithographiemasken. Die Ausschreibung umfasst ausschließlich die spezifizierte Anlage; Medien und Peripherien werden separat bereitgestellt.

Beschaffung einer Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette zur direkten Lithographie auf Zielsubstraten sowie zur Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie für den Reinraum des Instituts für Quantentechnologien.

Project Location
Albert-Einstein-Allee 45, 89081 Ulm, Deutschland
Eignung

Bidder Requirements

  • Eintragung ins Handelsregister
  • Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit 1.000.000 EUR Deckungssumme
  • Eigenerklärung BMWK-Russland
  • Eigenerklärung GWB
  • Eigenerklärung MiLoG
  • Eigenerklärung ILO
Technische Details

Besondere Bedingungen

  • Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB
  • Einhaltung der Sanktionen gemäß VO (EU) Nr. 833/2014
  • Angebote in deutscher oder englischer Sprache
Original Title: Laserlithographie
deen